今日消息 尼康用支持3D机型开拓半导体光刻机销路

日经新闻8月24日报道，尼康2025财年（截至2026年3月）将把半导体光刻机（曝光装置）主力机型的年销量增至截至2021财年（截至2022年3月）3年平均销量的2倍以上。将以2023年上市的支持3D半导体的新产品为中心。

半导体光刻机用于在作为基板的晶圆上形成电路的工序，1台光刻机的价格高达数十亿日元。尼康2023年将推出光源使用化合物“氟化氩（ArF）”、还支持3D的“ArF液浸光刻机”的新产品。在截至2021财年（截至2022年3月）的3年内，使用ArF的半导体光刻机年均销售16台（包括二手机型）。

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